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测试出能谱后，对应的软件上有显示元素种类，该元素对应哪几个峰形。有时候会出现很多不知名的其他元素，这个时候要根据自己所测试物质所含元素的组成进行辨别。测试时，分为面扫和点扫，面扫对应SEM上显示的一个面中各元素含量，点扫则对应该点（实际上由于探针会飘动，所以也会收集到附近/周围点的元素情况）。收集的时间长短，决定了峰的强度大小，一般为了数据可靠，收集的时间要长一些。最后，EDX会给出以At%和wt%为单位的各元素数据，At%表示原子百分数，wt%表示质量百分数。根据wt%除以各种元素的相对原子质量，可以计算出物质的结构式。但是，EDX只是一个半定量的测试方法，结果还不够精确。想要获得更加精确的数值，可以用ICP（含金属的物质）。

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