《游褒禅山记》中文言虚词“其”字在文中有二十处之多，大致可分为五种类型：

一、 指示代词，相当于“那”、“那个”、“那些” 例：

（1）唐浮图慧褒始舍于其址

（2）以故其后名之曰“褒禅”

（3）距其院东五里

（4）则其好游者不能穷也

（5）盖其又深

（6）则或咎其欲出者

（7）则其至又加少矣

二、 人称代词，相当于“它”（他）

（8）以其乃华山之阳名之也

（9）其文漫灭

（10）独其为文犹可识，曰：“花山”

（11）其下平旷

三、 人称代词，作“它的”讲

（12）问其深 （13）然视其左右 （14）后世之谬其传而莫能名者

四、 人称代词，活用为第一人称，相当于“我”、“我们”、“自己” （15）既其出 （16）以其求思之深而无不在也 （17）而余亦悔其随之而不得极夫游之乐

五、 语气副词，表示反问语气，可译为“难道”；表估计时，译为“大概”、“可能” （18）其孰能讥之乎 （19）入之愈深，其进愈难 （20）而其见愈奇。