目前主要的xps仪器生产厂家有:1 。 ULVCA-PHI公司,原美国phisical electronics公司,产品型号有:phi-5000Versaprobe系列,Quantera系列。原大名鼎鼎的美国PE公司产品。主要生产的xps特点是采用聚焦x射线技术,最小的x-ray光斑可以做到小于10um,并且具有专利的双束电荷中和系统(电子束和离子束),中和效果极佳。同时,采用扫描x-ray技术可以获得二次电子图像,对微区定位分析很重要。
产品价格高。采用聚焦x-ray技术。2。岛津公司,原来的英国kratos公司,又是一家被日本公司收购的仪器公司,主要代表产品为:kratos-ultra DLD,其特点是采用了延迟线技术(DLD),采集图像速度特别快。同时采用浸没透镜技术,提高一起的灵敏度。另外,其电子云中和技术也是依靠磁浸透镜。但是其小束斑技术信号差,对样品垂直位置放置要求严格,z轴高度在(-20um~+20um)。
性能虽然差一点。产品价格也是相当高. 采用虚拟探针技术。3。Thermal VG公司,产品的系列较多,K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等,主要技术特点是平行光成像技术,采用两各不同的检测器,一个负责采集谱图,一个负责采集图像,其主要缺点都是降低检测器的有效接收面积,原因是其中一个检测器(谱图)被当作光栅使用。
性能更差。但是,价格也不便宜。采用虚拟探针技术。...